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SEM掃描電鏡塊狀樣品如何制備

日期:2024-11-26 09:48:19 瀏覽次數(shù):113

掃描電鏡掃描塊狀樣品的制備方法主要根據(jù)樣品的導(dǎo)電性和大小來決定。以下是一個(gè)基本的制備流程:

一、樣品準(zhǔn)備

選擇樣品:確保樣品的大小適合SEM掃描電鏡的樣品底座尺寸。如果樣品過大,可能需要進(jìn)行切割或鑲嵌處理。

清洗樣品:使用丙酮、酒精等溶劑對(duì)樣品進(jìn)行清洗,以去除表面的污染物和雜質(zhì)。必要時(shí),可以使用超聲波清洗器進(jìn)行清洗,確保樣品表面干凈無雜質(zhì)。

掃描電鏡.jpg

二、導(dǎo)電處理

導(dǎo)電性判斷:判斷樣品是否導(dǎo)電。如果樣品導(dǎo)電性良好,可以直接進(jìn)行下一步操作;如果樣品導(dǎo)電性差或不導(dǎo)電,則需要進(jìn)行鍍膜處理。

鍍膜處理:對(duì)于導(dǎo)電性差的樣品,可以使用真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)或離子濺射鍍膜技術(shù)在樣品表面形成一層導(dǎo)電膜。這層導(dǎo)電膜可以避免樣品在電子束作用下產(chǎn)生電荷堆積,影響圖像質(zhì)量。

三、固定與安裝

固定樣品:使用導(dǎo)電膠帶將樣品固定在掃描電鏡的樣品底座上。對(duì)于較大的樣品,可以使用碳導(dǎo)電膠帶進(jìn)行固定,并在四周刷上碳膠或銀膠以增加牢固度。

安裝樣品:將固定好的樣品安裝到SEM掃描電鏡的樣品臺(tái)上,確保樣品穩(wěn)固且不會(huì)在高真空環(huán)境下移動(dòng)或振動(dòng)。

四、注意事項(xiàng)

避免損傷樣品:在制備過程中,要盡可能避免對(duì)樣品造成損傷,保持其自然形貌狀態(tài)。

保持干燥:樣品B須充分干燥,以避免在掃描電鏡觀察過程中產(chǎn)生圖像漂移或損傷儀器。

防止污染:制備過程中要佩戴干凈無粉手套,使用的工具也要保持清潔,以避免手印、汗液、唾液和微量油脂等污染物對(duì)樣品的影響。

通過以上步驟,可以制備出適合SEM掃描電鏡觀察的塊狀樣品。需要注意的是,不同類型的樣品可能需要不同的制備方法和參數(shù)調(diào)整,因此在實(shí)際操作中需要根據(jù)具體情況進(jìn)行靈活處理。

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