掃描電子顯微鏡（SEM）是1965年發(fā)明的主要用于細(xì)胞生物學(xué)研究電子顯微鏡，主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子。

　　二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來(lái)的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。

　　掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是，①有較高的放大倍數(shù)，20-200000倍之間連續(xù)可調(diào)；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；③試樣制備簡(jiǎn)單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析（即SEM-EDS），因此它是當(dāng)今十分重要的科學(xué)研究?jī)x器之一。

　　⑴生物：種子、花粉、細(xì)菌……

　?、漆t(yī)學(xué)：血球、病毒……

　?、莿?dòng)物：大腸、絨毛、細(xì)胞、纖維……

　?、炔牧?[1] ：陶瓷、高分子、粉末、金屬、金屬夾雜物、環(huán)氧樹脂……

　　⑸化學(xué)、物理、地質(zhì)、冶金、礦物、污泥（桿菌） 、機(jī)械、電機(jī)及導(dǎo)電性樣品 ，如半導(dǎo)體(IC、線寬量測(cè)、斷面、結(jié)構(gòu)觀察……）電子材料等。