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SEM掃描電鏡樣品制備之樣品導(dǎo)電導(dǎo)熱性能要好

日期:2023-07-14 10:20:23 瀏覽次數(shù):110

樣品導(dǎo)電導(dǎo)熱性能要好。掃描電鏡聚焦成像時(shí),電子束直接照射樣品表面,如果樣品材料不導(dǎo)電會(huì)產(chǎn)生荷電效應(yīng)(也稱充電效應(yīng))。負(fù)電荷電子局部積累,抑制入射電子和出射信號(hào),引起圖像變形和位移,無法進(jìn)行聚焦。

 臺(tái)式掃描電鏡ZEM15.jpg

解決方案:

針對(duì)不導(dǎo)電樣品,可以采用噴鍍碳或金屬以提高材料的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能,同時(shí)還能增強(qiáng)樣品信號(hào)發(fā)出量。在樣品表面噴鍍導(dǎo)電膜,對(duì)能譜檢測(cè)結(jié)果有所影響,針對(duì)有些無法噴鍍的樣品,可采用低真空模式觀察樣品以緩解荷電效應(yīng)。

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