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SEM掃描電鏡中的樣品表面充電問題及其解決方法

日期:2023-07-28 09:22:30 瀏覽次數(shù):121

掃描電鏡中,樣品表面充電是一個常見的問題。當(dāng)樣品處于高真空環(huán)境下,并且受到來自電子束的照射時,可能會發(fā)生表面電子的發(fā)射和重新組合,導(dǎo)致樣品表面帶電。這會導(dǎo)致圖像失真、信號衰減以及可能損害樣品。以下是一些常見的解決方法:

掃描電鏡.jpg 

導(dǎo)電涂層:在SEM掃描電鏡觀察之前,對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行導(dǎo)電涂層處理是一種常見的方法。通過在樣品表面涂覆一層導(dǎo)電性材料,如金屬(例如金或鉑)、碳等,可以有效地消除表面充電問題。這種導(dǎo)電涂層可以吸收或傳導(dǎo)表面電子,防止樣品表面帶電。

低電流模式:減小電子束的能量和電流,特別是在初期尋找焦點和條件時,可以減少表面充電。逐漸增加電流,直到獲得足夠的信號強(qiáng)度為止。

使用低加速電壓:降低電子束的加速電壓也有助于減少樣品表面充電。較低的加速電壓會減少電子束的穿透深度,從而減少與樣品相互作用的電子數(shù)量,減輕表面充電問題。

脈沖模式:一些掃描電鏡設(shè)備支持脈沖模式,其中電子束在照射樣品之間會暫時關(guān)閉。這有助于減少表面電子的累積和樣品表面的充電。

氣體環(huán)境:在觀察某些樣品時,可以考慮使用環(huán)境SEM掃描電鏡或氣體環(huán)境掃描電鏡。這些方法允許在樣品表面形成一個較輕的氣氛,有助于減少表面充電現(xiàn)象。

調(diào)整儀器參數(shù):通過調(diào)整SEM掃描電鏡的工作參數(shù),如電子束的掃描速度、電子束的偏轉(zhuǎn)和對焦等,可以優(yōu)化圖像質(zhì)量和減少表面充電問題。

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