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SEM掃描電鏡如何生成樣品的表面形貌圖像

日期:2023-08-30 09:59:51 瀏覽次數(shù):143

掃描電鏡通過以下步驟生成樣品的表面形貌圖像:

樣品制備: 需要先將樣品制備成適合在SEM掃描電鏡中觀察的形態(tài)。樣品應(yīng)該是堅硬、平整、干凈的,并且可能需要進行導(dǎo)電涂層以減少電荷積累效應(yīng)。

掃描電鏡.jpg

真空系統(tǒng)準(zhǔn)備: 掃描電鏡操作需要在高真空環(huán)境中進行,以避免電子束與氣體相互作用。因此,需要啟動真空泵以將SEM掃描電鏡系統(tǒng)的壓力降低到適當(dāng)?shù)恼婵占墑e。

樣品安裝: 將樣品安裝在掃描電鏡的樣品臺上。樣品臺通常具有可調(diào)節(jié)的XY臺移動功能,以便將樣品表面映射到電子束的掃描區(qū)域。

電子束準(zhǔn)備: 啟動電子束并設(shè)置適當(dāng)?shù)碾娮邮鴧?shù),如加速電壓、聚焦、亮度等。這些參數(shù)將影響電子束的性質(zhì)和聚焦效果。

掃描和成像: 將電子束掃描在樣品表面上。在掃描過程中,電子束與樣品表面的不同區(qū)域相互作用,產(chǎn)生次級電子(SE)和反向散射電子(BSE)等信號。這些信號會被探測器捕獲。

信號采集和處理: 探測器捕獲次級電子和反向散射電子等信號,并將其轉(zhuǎn)化為電信號。這些信號被處理并送入圖像顯示系統(tǒng),形成黑白圖像或灰度圖像。

圖像顯示和獲?。?處理后的信號被送入圖像顯示器,顯示出樣品表面的圖像。圖像可以是灰度圖像,其中不同灰度值對應(yīng)于樣品表面的不同高度或特性。

圖像分析: 獲取的圖像可以通過圖像分析軟件進行進一步處理和分析??梢赃M行像素分析、輪廓提取、粒徑分析、形貌分析等操作,以獲取關(guān)于樣品表面形貌和特性的更多信息。


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