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SEM掃描電鏡常見問題之樣品處理的要求

日期:2023-11-13 11:28:21 瀏覽次數(shù):87

掃描電鏡之樣品處理的要求,多熟悉SEM掃描電鏡對樣品處理要求對測試有很大的幫助,下面小編帶大家來看看都有哪些要求。

掃描電鏡的優(yōu)勢為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面,參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢為樣品須在真空環(huán)境下觀察,因此對樣品有一些特殊要求,籠統(tǒng)的講:干燥,無油,導(dǎo)電。
1、形貌形態(tài),須耐高真空。

例如有些含水量很大的細(xì)胞,在真空中很快被抽干水分,細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變,無法對各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分;

掃描電鏡.jpg

2、樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物。
油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠?,對真空環(huán)境造成很大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w;碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘柈a(chǎn)量;碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬鸷艽笙笊ⅲ惶細(xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

3、樣品須為干燥。
水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā),從而大降低燈絲壽命;水蒸氣會散射電子束,增加電子束能量分散,從而加大色差,降低分辨能力。

4、樣品表面須導(dǎo)電。
在大多數(shù)情況下,初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,因此多余的電子須導(dǎo)入地下,即樣品表面電位須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負(fù)電勢不斷增加,出現(xiàn)充電效應(yīng),使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。

5、在某些情況下,樣品制備變成重要的考慮因素。
若要檢測觀察弱反差機(jī)理,就須消除強(qiáng)反差機(jī)理(例如,形貌反差),否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望EBSD背散射電子衍射反差,I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時,磁性材料的磁疇特性須消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光,電解拋光等,產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。

特殊情況: 磁性材料,須退磁。

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