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臺式掃描電鏡在試樣前要做哪些準(zhǔn)備

日期:2023-11-14 08:58:34 瀏覽次數(shù):96

臺式掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。

電子光學(xué)系統(tǒng):電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號的激發(fā)源。

電子槍:其作用是利用陰極與陽極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束。

電磁透鏡:其作用是把電子槍的束斑逐漸聚焦縮小,使原來直徑約50um的束斑縮小成一個只有數(shù)nm的細(xì)小束斑。

掃描線圈:其作用使電子束進(jìn)入末級透鏡強(qiáng)磁場區(qū)前就發(fā)生偏轉(zhuǎn)。

SEM掃描電鏡.jpg

臺式掃描電鏡的試樣準(zhǔn)備:

SEM掃描電鏡中檢測的試樣,其準(zhǔn)備工作十分簡便。對導(dǎo)電體試樣,可以不做任何預(yù)處理,只要其大小形狀適合試樣室,即可置入儀器試樣室檢測。對非導(dǎo)電體試樣,則在置入試樣室前,要在真空鍍膜機(jī)中對其待測表面噴鍍一薄層導(dǎo)電物質(zhì),常用的是金或碳。

為了觀察到復(fù)合材料界面區(qū)的二次電子像,應(yīng)用某種方法將材料的界面區(qū)域暴露于試樣表面。例如:

將纖維增強(qiáng)復(fù)合材料中的纖維拉出,暴露出纖維表面和原先與纖維相結(jié)合的基體表面,這是受到或多或少損壞的界面。

另一個常用的方法是對復(fù)合材料施力,使其沿設(shè)定的方向斷裂。對脆性材料,可在常溫下實(shí)施;而對韌性復(fù)合材料,可用冷凍斷裂法,在液氮溫度下將材料脆性斷裂,暴露出包含基體、增強(qiáng)體和界面的區(qū)域。

還有一種方法是將暴露了界面區(qū)的端面或斷裂面,在超薄切片機(jī)上用金剛石刀或玻璃刀切平。

亦或者磨平拋光,隨后使用蝕刻法,使試樣端面結(jié)構(gòu)不同或成分不同的區(qū)域有著不同程度的蝕刻,形成形貌上的差異。

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