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SEM掃描電鏡有沒有什么局限性?

日期:2023-11-17 09:37:19 瀏覽次數(shù):118

掃描電鏡是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)。sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

從原理上講,掃描電鏡是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。sem掃描電鏡可以直接觀察觀察納米材料,進(jìn)行材料斷口的分析,直接觀察原始表面等。

掃描電鏡.jpg

它利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測器,使選擇檢測得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)x射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。

SEM掃描電鏡利用電子隧道現(xiàn)象,將樣品本身作為一個(gè)電極,另個(gè)電極是一根非常尖銳的探針,把探針移近樣品,并在兩者之間加上電壓,當(dāng)探針和樣品表面相距只有數(shù)十埃時(shí),由于睡道效應(yīng)在探針與樣品表面之間就會(huì)產(chǎn)生隧道電流并保持不受;若表面有微小起伏,哪怕只有原子大小的起伏,也將使穿透電流發(fā)生成千上萬信的變化。

掃描電鏡可以觀察單個(gè)原子在物質(zhì)表面的狀態(tài)和與表面電子行為有關(guān)的物理、化學(xué)性質(zhì),在表面科學(xué),材料科學(xué)、生命科學(xué)、藥學(xué)化學(xué)納米技術(shù)等研究領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。

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