地礦學(xué)

1）掃描電鏡能分析礦物表面形貌，組織和組成。通過SEM掃描電鏡觀測礦物微區(qū)變化能為礦物成巖環(huán)境與歷史演化分析提供證據(jù)；能觀測粘士礦物形態(tài)，分布，性質(zhì)與共生組合等特征，為粘土礦物成因與地球化學(xué)背景分析奠定基礎(chǔ)；能分析儲集巖礦物組成，結(jié)構(gòu)構(gòu)造，孔隙類型與成因等特征，并為儲層優(yōu)劣評價提供參考。

2）掃描電鏡可以研究巖土組成，構(gòu)造和堅(jiān)固性?？捎脕碛^測宇宙塵，隕石及月巖等的形態(tài)特征，構(gòu)造，以便對推斷其成因和認(rèn)識寧宙提供了有效資料；可以對古微生物化石形態(tài)，排列方式進(jìn)行研究，對測定地質(zhì)年代及地層形成古地理環(huán)境等提供數(shù)據(jù)。

 微電子工業(yè)

半導(dǎo)體器件性能與穩(wěn)定性與器件表面微觀狀態(tài)有關(guān)。SEM掃描電鏡可用于半導(dǎo)體二極管、三級管、集成電路或者液晶顯示器的失效分析、微觀形貌的觀察以及失效點(diǎn)和缺陷點(diǎn)的查找與觀測，準(zhǔn)確測量器件微觀幾何尺度及表面點(diǎn)位分布情況等，并與能譜相結(jié)合也可以分析污染物中各要素。有利于失效原因的分析、制備工藝的完善和有效措施預(yù)防事故。

利用掃描電鏡觀察到的光柵的周期性結(jié)構(gòu)。利用SEM掃描電鏡圖可對光柵的周期性距進(jìn)行測量，觀察光柵上是否有缺陷位點(diǎn)。

刑事偵查

掃描電鏡應(yīng)用于刑事偵查，其特點(diǎn)是用量少、對檢材無損害，可用來檢驗(yàn)射擊殘留物、爆炸殘留物、油漆、涂料、文書、金屬附著物、刮擦／撬壓痕跡、毒物、生物類物證（土壤、植物組織、纖維、骨、組織和毛）。通過觀察、比對這批物證微觀形貌，并結(jié)合能譜進(jìn)行成分分析，可為調(diào)查提供線索或證實(shí)作案提供科學(xué)依據(jù)。