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光學儀器小知識之SEM掃描電鏡是什么?如何使用掃描電鏡?

日期:2023-12-18 13:45:38 瀏覽次數(shù):117

掃描電鏡的全稱是掃描電子顯微鏡,它可以用來觀察被檢測物體的細微之處、成像,這一點和顯微鏡有相似之處。SEM掃描電鏡是通過電子束掃描被檢測物品的表面進而產(chǎn)生被檢測物品表面的圖像。

掃描電鏡有一個電子發(fā)射槍,從槍中會發(fā)射出加速、聚焦過的電子,在用這些電子來撞擊樣品。樣品在受到撞擊后會產(chǎn)生如同水波一般的信號,另一個接收器會用來接收這些信號。這些信號有許多不同的種類,不同的信號有不同的用途,可以對樣品多個方面的表現(xiàn)進行檢測。因此,SEM掃描電鏡除了可以成像外,還可以用來分析樣品的成分形貌,對樣品的元素進行分析。

掃描電鏡.jpg

掃描電鏡的分辨率比顯微鏡的分辨率高得多,能夠?qū)⑽锲贩糯?/span>20萬倍。SEM掃描電鏡的視野廣闊,其形成的圖像有很強的立體感,可以觀察到凹凸不平的細微結(jié)構(gòu)。

目前研制出的掃描電鏡種類有很多,按照結(jié)構(gòu)和用途進行劃分的話大概有6種,其中包括常見的典型掃描電鏡、還有掃描透射電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、冷凍掃描電鏡、掃描隧道電鏡、原子力顯微鏡等。

隨著科技的不斷發(fā)展,掃描電鏡的研制技術(shù)也在不斷進步,越來越多的人了解到SEM掃描電鏡,其已經(jīng)從高等級的研究發(fā)展變成了被廣泛使用的測試手段,應用范圍涉及到各行各業(yè),其中包括生命科學、材料科學、食品科學、化學、電子學等學科,還運用到了陶瓷行業(yè)、化工行業(yè)、半導體行業(yè)等生產(chǎn)部門。

掃描電鏡功能強大,在使用時要仔細按照使用方法操作,要牢記使用注意事項:

1、 SEM掃描電鏡的樣本B要很薄,樣品太厚在圖像中會顯得比較暗,圖像對比不明顯,成像立體感就不會很強。

2、 掃描電鏡不顯示圖像時,先要檢查高真空指示燈是否亮,真空正常時再去判斷顯示和放大電路是否正常,再接著檢查光電倍增管,如果都是正常的,就只需要檢查和鏡筒有關電路即可。

3、 倍率偏移情況出現(xiàn)時,容易帶來圖像的不穩(wěn)定,發(fā)生此項故障大都是電氣線路上的問題,對此進行排查處理即可。

4SEM掃描電鏡對被檢測樣品的處理要求比較嚴格:被檢測樣品一定要有干凈的表面;被檢測樣品整體B徹底干燥;標記物品的標記物一定要有形狀以便識別。

掃描電鏡的使用過程雖然比較繁瑣,并且在使用過程中由于使用器件質(zhì)量的差異、環(huán)境的異同等可能會產(chǎn)生許多故障,但只要按照使用方法進行分析,能夠比較快地進行處理。


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